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  • 真空环境可更好地控制加热,并保护压痕针尖和样品免受氧化
  • 全自动程序,可将热漂移降至最低
  • 从 -150℃ 至 800℃ 的可变温度测试
  • 真空度低至 10-7 mbar
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unht³ htv 高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统,用于温度在 800℃ 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专利 unht 技术与独特的加热功能结合,可提供在任何温度下的高稳定性测量凯发k8国际首页登录的解决方案。

关键功能

新一代的高温纳米压痕测试仪

  • 环境条件下最低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内最低热漂移 (< 3 nm/min)。
  • 最高载荷框架刚度 (>>106 n/m) 和最低框架柔度 (<<0.1 nm/mn):两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合,可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。
  • 高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统,允许在测量期间关闭初级泵,使振动降至最低。
  • 独特的加热控制系统(3 项专利待批),采用 3 个红外 (ir) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热,4 个热电偶用于将样品表面温度控制在 0.1℃ 内。
  • 符合 iso 14577 和 astm e2546 国际标准

技术规格

载荷
最大载荷 100 mn
载荷分辨率   6 nn
本底噪音   0.5 [rms] [μn]*
深度
最大位移100 μm
位移分辨率 0.003 nm
本底噪音 0.15 [rms] [nm]*
 
极限真空度 10 mbar
最高温度 800℃

*理想实验室条件下规定的本底噪音值,并使用减震台。

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